陳暎仁;簡禎富;黃馨滿;
頁: 129-153
日期: 2016/04
卷期: 23(2)
關鍵字: 彩色濾光膜及微透鏡製程;缺陷樣型;資料挖礦;大數據分析;關聯規則;製造智慧;工業3.5;
Keywords: color filter and microlens process;defect pattern;data mining, big data analytics;association rules;manufacturing intelligence;industry 3.5;
摘要: 彩色濾光膜及微透鏡為製造CMOS影像感測器的關鍵製程，為了提昇產品良率，必須在製造過程中找出造成缺陷樣型的可能原因，以進行修復、減少重工。目前彩色濾光膜廠多半憑藉工程師的領域知識與經驗法則來做故障排除，然而這種方式很容易因為經驗不足而誤判，同時不夠快速且...

引用     導入Endnote